720mm sic asferik aynanın üretimi

3. Parlatma: Kaba parlatma, daha büyük diyafram sic asferik aynaların yüzey pürüzlülüğünü ve yüzey doğruluğunu daha da iyileştirir. CNC küçük taşlama kafaları hala kaba parlatma için kullanılmaktadır ve ikinci aşama MRF-magnetorheolojik sonlandırma da dahildir. Kaba parlamadan sonra, ayna yüzeyi girişim metrolojisi aşamasına girer ve yüzey doğruluğu RMS değeri 1/10 λ'dan daha iyi olduktan sonra SI kaplama aşamasına girebilir.

4.SI Kaplama: Büyük bir açıklığın ayna boş malzemesi SIC asferik aynanın, genellikle basınç-dizilmiş SIC malzemesine kıyasla biraz daha düşük yoğunluğa sahip reaksiyon-ekstreli SIC malzemesini kullanır. Daha büyük diyafram sic asferik aynanın yansıtıcılığını artırmak için, yüzey yoğunluğunu artırmak için ayna yüzeyine bir Si tabakası kaplanır.

5. Boş parlatma: Modifikasyondan sonra, daha büyük diyafram asferik ayna ince parlatma aşamasına girer. CNC küçük taşlama kafaları, stres turu parlatma ve MRF-magnetorheolojik sonlandırma, modifiye edilmiş yüzeydeki nispeten gevşek tabakayı çıkarmak için ince parlamanın ilk aşamasında kullanılır. Daha sonra, CNC küçük taşlama kafaları, iyon ışını figürü ile birlikte, tasarım gereksinimlerine göre yüzey doğruluğunu düzeltmek için kullanılır. Şu anda, daha büyük diyafram sic asferik aynalarının yüzey doğruluğu, 1/60 λ'dan veya daha iyisinden daha iyi bir tam çaplı RMS değerine işlenebilir.

Birkaç yıllık teknik birikimden sonra, MG-Optik şu anda büyük tercihli sic asferik ayna sürecini geliştirme yeteneğine sahiptir. 720 mm çapında büyük açıklıklı bir sic asferik ayna, 1/60 λ'dan daha iyi bir nihai yüzey doğruluğu tam çaplı RMS değeri ile tamamlanmıştır.