Metal Asferik Ayna İşleme Teknolojisi

Metal aynalar tamamen hafif tasarlanmış olabilir ve optik mekanik entegrasyon kurulumu ve ayarı, aynanın arka desteğinin yapısını basitleştirmek için tasarlanabilir.

Metal malzemeler genellikle döküm ile elde edilir. Metal malzemeler iyi termal iletkenliğe, nispeten büyük genişleme katsayısına sahiptir ve sıcaklıktan kolayca etkilenir. Bununla birlikte, metal malzemeler iyi işleme teknolojisi ve kısa tedarik süresinin avantajlarına sahiptir. Optik sistemde yaygın olarak kullandığımız alüminyum asferik ayna ve Ni-P alaşım asferik aynadır.

İşleme teknolojisinin kilit noktaları ：

1.Single nokta elmas dönüşü, metal ayna işlemesi için vazgeçilmez ve önemli bir süreçtir. Ultra hassas Turning Technology (STDP teknolojisi), dönen metal aynalarda deterministik malzeme çıkarma yapmak için elmas çevirme araçlarını kullanır. Döndükten sonra, yüzey doğruluğuna λ/10'dan (λ = 632.8nm) daha iyi ulaşılabilir ve yüzey pürüzlülüğü 2nm'den daha iyi olabilir. Aşağıdaki resmin gösterdiği gibi.

2. metal aynası döndükten sonra daha iyi yüzey doğruluğu ve pürüzlülüğü elde edebilse de, dönme prensibi nedeniyle, metal aynanın yüzeyinde dönüm alet işaretleri olacaktır, çıplak gözle görünmez olsa bile, optik sisteme belirli hasar. Bu nedenle, döndükten sonra yüzeyin cilalanması gerekir. Bazı metal aynalar yüzeylerinde katmanlar (alaşım aynaları, yurtiçi 6061 aynalar vb. Gibi) ve daha sonra kaplamadan sonra cilalanacaktır. Aşağıdaki işlemin gösterdiği gibi.

3. metal aynaların sertliği nispeten düşüktür ve parlatma işlemi sırasında yüzeyde çiziklerin meydana gelmesi kolaydır, bu da yüzey oksidasyonunu da hızlandırabilir. İyi bir ayna yüzeyi elde etmek zordur ve yaygın bir çözüm yüzeyde metal kaplama yapmaktır. Bimetalik etkiyi önlemek için ayna substratı ve modifiye edilmiş tabaka arasındaki termal genleşme katsayısındaki fark dikkate alınmalıdır (kaplamadan sonra ayna yüzeyi doğruluğu sıcaklıkla değişir). Yaygın olarak kullanılan metal ayna yüzey kaplama işlemi, düzgün yoğunluğa ve yüksek sertliğe sahip NI-P katmanıdır. Parlamadan sonra, yüksek hassasiyetli yüzey doğruluğu ve pürüzlülüğü elde edilebilir.

4. Metal aynanın tek noktalı elmas döndükten sonra, yüzey doğruluğu ve pürüzlülüğü nispeten yüksektir ve doğrudan interferometrik test aşamasına girebilir. Test optik yolunun tasarımına göre, lazer interferometresi, bilgisayar tarafından oluşturulan hologram (CGH) ve ayar çerçevesi interferometrik test için düzenlenmiştir. Yüzey doğruluğu gereksinimleri karşıladıktan sonra (örneğin λ1/50, λ = 632.8nm), ayna kaplanabilir ve verilebilir.